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金屬鉬片的CMP拋光工藝

文章出處:責(zé)任編輯:人氣:-發(fā)表時(shí)間:2023-12-13 17:09【

  工廠的鉬片加工工藝采用粗磨、雙端面立磨等研磨工藝,粗磨的合格率僅在85%左右,整體平行度不良居多,造成產(chǎn)品合格率下降,也造成后續(xù)加工難度,這與金屬鉬的特性有關(guān),目前鉬片采用CMP拋光工藝(拋光液+拋光墊)能達(dá)到鏡面效果。

  鉬的特點(diǎn):鉬是一種難溶金屬,具有很多優(yōu)良的物力化學(xué)和機(jī)械性能。由于原子間結(jié)合力極強(qiáng),所以在常溫和高溫下強(qiáng)度均非常高。它的膨脹系數(shù)低,導(dǎo)電率大,導(dǎo)熱性好。在常溫下不與鹽酸、氫氟酸及堿溶液反應(yīng),僅溶于硝酸、王水或濃硫酸之中,對(duì)大多數(shù)液態(tài)金屬、非金屬熔渣和熔融玻璃亦相當(dāng)穩(wěn)定。

吉致電子拋光液 鉬片拋光

 金屬鉬在冶金、農(nóng)業(yè)、電器、化工、環(huán)保和宇航等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,鉬必須以受控的方式通過(guò)拋光或磨光移除,以實(shí)現(xiàn)適合例如用于半導(dǎo)體器件制造的表面性質(zhì)。

吉致可提供鉬片/金屬鉬的鏡面拋光液:

1、微米/納米級(jí)拋光液,拋光后具有均勻鏡面效果

2、磨料顆粒呈懸浮狀態(tài),不易分散沉淀,提高CMP效率和穩(wěn)定性

3、鉬片專用拋光液磨料硬度高、穩(wěn)定性好、化學(xué)惰性強(qiáng),

通過(guò)CMP化學(xué)機(jī)械平面拋光工藝,結(jié)合吉致電子平面研磨機(jī)配合研磨液、拋光液、研磨盤(pán)就可以達(dá)到理想鏡面效果。

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