氧化鋁拋光液由氧化鋁微粉制備而成，氧化鋁粉體具有多個晶體形態(tài)，常見的有Y，θ，α，δ等相。

 其中α相的氧化鋁為其他相的氧化鋁高溫轉(zhuǎn)變而成。作為拋光液用的α氧化鋁顆粒，根據(jù)拋光(粗拋/精拋)的要求不同，a -Al2O3平均顆粒大小可以從100nm到500/1000nm而不同,但不論是哪種拋光，氧化鋁的硬團(tuán)聚體，或超大顆粒越少越好，這些超大顆粒會在拋光過程中給晶體表面造成劃傷，導(dǎo)致整個拋光過程失敗。

 所以，在制備以a-Al2O3為主體的拋光液過程中，如何控制超大顆粒是一關(guān)鍵。吉致電子氧化鋁研磨液/氧化鋁精拋液，顆粒經(jīng)表面改性處理，按特殊化學(xué)配方充分混合制備而成，具有減薄下尺寸強(qiáng)等優(yōu)點，拋光效率高且不結(jié)晶。粒徑分布適中，氧化鋁拋光液分散性好，有效避免顆粒團(tuán)聚造成的工件劃傷。吉致電子生產(chǎn)研發(fā)的納米拋光液性價比高，納米氧化鋁拋光液最小可達(dá)100nm以下。

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