- [行業(yè)資訊]吉致電子碳化硅CMP研磨液：助力SiC半導體制造升級[ 2025-06-26 16:03 ]
- 吉致電子碳化硅CMP研磨液采用多組分協(xié)同作用的設計理念，結合氧化鋁磨料的高效機械作用與高錳酸鉀的精密化學氧化，實現(xiàn)了材料去除率與表面質量的完美平衡。產(chǎn)品經(jīng)過嚴格的質量控制和實際產(chǎn)線驗證，具有以下核心優(yōu)勢：1. 高效化學-機械協(xié)同拋光機制吉致電子CMP研磨液的獨特之處在于其雙重作用機制：高錳酸鉀(KMnO4)作為強氧化劑，在拋光過程中將碳化硅表面氧化生成較軟的SiO2層，這一氧化層硬度顯著低于碳化硅基底，隨后被氧化鋁磨料高效機械去除。通過調節(jié)pH值(通?？刂圃?0-11之間)，實現(xiàn)了氧化速率與機械去除的最佳匹配，既保
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