半導(dǎo)體拋光液--球型二氧化硅拋光液的用途
球形硅微粉作為拋光液磨料,可大大提高產(chǎn)品的剛性、耐磨性、耐候性、抗沖擊性、耐壓性、抗拉性、阻燃性、良好的耐電弧絕緣性和耐紫外線輻射性。讓我們來看看球型二氧化硅拋光液作為半導(dǎo)體拋光液/研磨液在電子芯片中的一些應(yīng)用。
精密研磨粉高純球形硅粉用于光學(xué)器件和光電行業(yè)的精密研磨,特別適用于半導(dǎo)體單晶多晶硅片、顯像管玻殼玻屏、光學(xué)玻璃、液晶顯示器(LCD、LED)玻璃基板、壓電晶體、化合物半導(dǎo)體材料(砷化鎵、磷化銦)、磁性材料等半導(dǎo)體行業(yè)的研磨拋光。
吉致電子用高純球形硅粉制備成的超高純硅溶膠拋光液slurry,主要用于硅晶圓片的精密拋光,集成電路的CMP拋光液調(diào)制,廣泛使用在各種尺寸的Si片硅晶片,Ge片鍺晶片,GaAs片,集成電路中的ILD及導(dǎo)線,石英玻璃,硬盤基片,IC電路,光電子晶體材料,LED藍(lán)寶石襯底、基片、外延片等半導(dǎo)體材料表面高平坦拋光(CMP)加工上。
吉致電子CMP拋光液的種類:
硅材料拋光液、藍(lán)寶石拋光液、砷化鎵拋光液、鈮酸鋰拋光液、鍺拋光液、、陶瓷覆銅板研磨液、集成電路多次銅布線拋光液、集成電路阻擋層拋光液、不銹鋼拋光液、氧化鋁拋光液、鋁合金拋光液、LOGO拋光液、銅拋光液、金剛石拋光液、氧化鈰研磨液等。免費(fèi)樣品可咨詢:17706168670
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