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吉致資訊第119期 藍寶石化學機械拋光液作用研究

文章出處:責任編輯:人氣:-發(fā)表時間:2017-10-13 16:44【

目前,藍寶石基片是LED工業(yè)的首選襯底,藍寶石表面的質(zhì)量對LED器件的質(zhì)量和性能有著非常重要的影響。因此,在生產(chǎn)藍寶石基片時,對后一道工序拋光加工工序有很高的要求,要求藍寶石基片的表面光滑、無缺陷,這也是藍寶石襯底重要的制程。但是,由于藍寶石晶體材料硬度高,脆性大,屬于典型的難加工材料之一。因此,如何讓拋光加工滿足日益增長的嚴格要求長期以來備受關注。如今的化學機械拋光是一可實現(xiàn)全局平坦化的拋光方法,而且它的成本相對較低,也是迄今為止可以在藍寶石生產(chǎn)中大規(guī)模應用的拋光方法。硅溶膠為納米的二氧化硅顆粒,在水中或溶劑中的分散液,屬于膠體溶液,由于它價格實惠,分散穩(wěn)定性性較好,因此廣泛應用于集成電路化學機械拋光液中。

由于科學技術(shù)的進步,人們在藍寶石拋光液的研究方面取得了較大進展,硅溶膠拋光液在更廣泛的領域內(nèi)得到應用,美國新澤西州立大學研究了水相介質(zhì)對藍寶石拋光的重要性,提出了在以氧化鋁為磨料的拋光液中,藍寶石表面會形成一層硬度較小、易于去除的水化層,從而加快去除速率,保證了表面質(zhì)量。

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