化學(xué)機(jī)械拋光中拋光墊于工件形成了大面積接觸，提高了一致性，但在拋光過(guò)程中，拋光墊會(huì)不斷被磨損消耗，有各種因素影響著拋光墊的性能和使用壽命，其中為直接的就是溫度。

在化學(xué)機(jī)械拋光工藝?yán)铮瑨伖鈮|一般遇到兩種情況下溫度會(huì)升高，一種是固體和固體的物理摩擦接觸，由摩擦力產(chǎn)生的溫升，有可能導(dǎo)致拋光墊局部溫度升高到30℃，當(dāng)拋光在水力解除模式下進(jìn)行時(shí)，放熱有所緩解。另一種就是拋光液于拋光墊之間的化學(xué)反應(yīng)放出的熱量引起的溫度升高。當(dāng)拋光墊的溫度過(guò)一定限度時(shí)，拋光墊聚亞安酯材料的機(jī)械性質(zhì)、物理性質(zhì)和化學(xué)性質(zhì)將會(huì)暫時(shí)或一直的改變。

溫度也是化學(xué)機(jī)械拋光工藝中影響拋光質(zhì)量的重要因素之一，溫度隨著拋光的磨削過(guò)程會(huì)發(fā)生變化，溫升對(duì)化學(xué)機(jī)械拋光的影響有兩個(gè)方面，溫升加快拋光液化學(xué)活性，加速拋光液中納米粒子的運(yùn)動(dòng)從而加速了材料的去除率。另一方面，溫升使得拋光墊表面變軟，從而降低了材料的去除率。因此對(duì)化學(xué)機(jī)械拋光中溫度場(chǎng)的研究有助于揭示拋光機(jī)理、獲得平穩(wěn)的拋光速率和改善被拋光件的表面質(zhì)量。

溫度一方面其可以加速化學(xué)反應(yīng)的過(guò)程，另一方面，溫度的升高，會(huì)改變拋光墊和拋光液的性質(zhì)，拋光墊升溫會(huì)變軟，溫度的升高，會(huì)使拋光粒子表面的活性劑失效，從而加速粒子之問(wèn)的團(tuán)聚，導(dǎo)致破壞化學(xué)機(jī)械拋光的結(jié)果。我們研究計(jì)算發(fā)現(xiàn)，在精拋的過(guò)程中溫度變化很小，大溫升才基本對(duì)拋光過(guò)程影響不大。關(guān)于粗拋過(guò)程的溫升，由于粗拋過(guò)程中接觸機(jī)理更加復(fù)雜，有待于進(jìn)一步解決。

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